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第3667章 193浸润式微影技术[3 / 4]

面幸亏有飞利浦持股27.4%的台积电的订单,不然ASML生产出来的PAS步进机,根本就没有人买。

而从PAS5500开始,只是靠着这一款产品,ASML就一路挤掉全球诸多的光刻机企业,成为全球第三。

也正是凭借着PAS5500的亮眼表现,让欧洲和老m突然对有可能超过Nikon和Canon,成为全球光刻机霸主,充满了一种热血的冲动和渴望,不愿意在这个领域受制于人。

连忙不请自来的屁颠屁颠的到处串联,于97年组建Sematech联盟。

到了99年开始收购硅谷集团(SVG),这是美国本土唯一的一家大型光刻机企业,ASML更是超过Canon,一跃成为光刻机领域排名世界第二,仅次于Nikon。

也正是这种危机感,让Nikon和Canon这两家东洋企业不计前嫌的联手,研发下一代的157nm光刻机。

而英特尔,摩托罗拉,AMD等看到这一幕,向Nikon和Canon提出了休战合议,就是组建EUV-LLC联盟(极紫外光刻技术),由这些公司投资参股Nikon和Canon剥离光刻机部门,这种简直就是抢劫的行为,东洋那边一片骂声,当然不会同意。

当年的广场协定,可把东洋坑的不轻,这次自然不愿意再当上当的傻比。

于是英特尔,摩托罗拉,AMD这些企业又找到ASML,提出可以提供资金研发EUV光刻机,才有了ASML现在的路线争论。

“还有对雕刻源的选择,除了DUV和EUV,XPL(X射线近场光刻)、电子束光刻和离子投影光刻,这四种雕刻源代表着四个不同的方向,全球都有企业和研发机构在推进这些雕刻技术。不过除了这些,目前在公司里面呼声最高的是193nm浸润式光刻技术。”

赵长安听的愣了一下,有点惊讶的望着萧扬名。

“在去年底的全球SPIE微光刻会议上,MIT的报告表明,在纯水环境157nm技术有着太多的难题和不稳定性,然而对于193nm,则和空气中的数据几乎没有任何的区别。”

萧扬名说道:“长安你可能没太明白这个报告的意义,其实只要你事后

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