稍微想一下就明白了，尤其你也是微电子专业。这也就是意味着可以利用成熟的193nm工艺，浸润式微影技术将镜头与晶圆的介质从折射率n~1的空气，改成ｎ=1.44的水（对应波长为193纳米光），形同将波长等效缩小为134纳米。这样就解决了这个最根本的波长问题。”
“这个技术呼声最高的是飞利浦，英特尔，卡尔蔡司，这些EUV-LLC联盟成员。因为一旦成功，ASML的市场份额就会从全球第二，进入全球第一，而且把Nikon和Canon甩开一个断层。不过这个技术上的难题依然很多，同样是即使投入大量的资源，也不能说就一定可以研发成功。”