2007年的国内半导体行业,绝大多数企业还在依赖进口二手设备,高端光刻机完全被海外巨头垄断,国内连配套调校技术都寥寥无几。
能自主完成整套193nm光刻机设备的组装与调试,放在当下的国内市场,绝对是颠覆性的突破。
自然,与政府的合作,估摸着也能在明年完成。
到时候国家也能拥有这项技术,运用在军事、航空等领域。
苏诚心中悬了许久的大石彻底落地,紧绷的肩线缓缓放松,沉声问道:
“最核心的光学镜片与光源工艺,稳定性怎么样?这是光刻机的命脉,容不得半点差错。”
这是他最关心的核心问题。
光刻机的上限,从来不在于机身结构,而在于光学系统的精度,镜片、镀膜、光路调校,每一项都是卡脖子的尖端技术。
梁景徽闻言立刻收敛亢奋,神色变得严谨肃穆,条理清晰地汇报起来:
“苏总,我们全程攻坚校准。
目前ArF光刻机的光源、镜片工艺已经完全成熟,彻底实现自主可控。
我们已经能够独立制备适配90nm工艺的ArF光刻机投影物镜。”
梁景徽顿了顿,接着认真解释道。
“客观来说,现阶段我们的光学精度、镀膜层数、光路稳定性,和德国蔡司的顶级镜头还有小幅差距,依旧有迭代提升的空间。
但完全不影响正常量产,性能稳定性远超国内所有同类设备。”
为了让苏诚更直观理解其中的技术跨度,梁景徽特意做了通俗对比,带着几分感慨:
“如果拿市面上的光学产品做对比,咱们光刻机的精密光学工艺,完全是降维碾压。
现在丹阳那些眼镜小作坊,做的普通树脂镜片、镀膜工艺,在我们的原子级光学技术面前,根本不在一个维度,毫无可比性。”
苏诚微微颔首,目光锐利,紧接着追问了一个关键问题:
“那小型摄像镜片呢?手机、平板用到的成像光学镜片,咱们的工艺能不能搞定?”
这一问直击产业链上游核心。
如今华创布局手机、平板终端产品,未来必然需要海量光学镜片,若是依旧依赖海外进口、国内代工,始终会被上游卡脖子。
想要真正掌握产业主动权,就必须吃透光学精密制造技术。
梁
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