识要素,没有被他们考虑进去,就是液体和干式介质之间,不同的折射率。
实际上在赵长安的前一世,林博士在自传中说到,他在不久前的SPIE微光刻,发表了很具有重量级的发言。
“我在研讨会发表用水配合193纳米,能比干式的157纳米多增进一世代,而且比后者容易开发。结果全场轰动。我演讲后,所有交谈的时间大家都在讨论这个题目。”
实际上,似乎真的没有这个事实,因为他的发言人家留有录音,这个可真是做不得假。