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第3314章 全球SPIE微光刻会议[3 / 4]

着Nikon和Canon为了能继续保持在这个领域的权威和垄断,以及已经砸进去几十亿美元的游说和新闻引导。

在这个会议上,林博士也参加了这场会议,会议的主持方要求他发言‘浸润式微影技术’。

“由于NA已经大于0.9,并且随着NA的进一步增加而回报递减,浸没式光刻可能是额外节点的关键。浸没式光刻的关键是具有在光学波长中具有足够的透射性,并且对透镜和抗蚀剂表面是惰性的。开始研究浸没流体是相对便宜的。一旦确定了流体,就必须解决许多问题;即,抗蚀剂的脱气,曝光或扫描过程中流体折射率的不均匀、流体的摩擦导致的扫描速度减慢,以及潮湿环境的混乱。——”

这时候赵长安手里面拿的一份文件,就是在这次全球SPIE微光刻会议上,各个专家级权威的发言。

其中他看了林博士的发言的时间最长,对于别的专家的发言,基本上都是快速的浏览。

对于赵长安前一世这个会议上林博士的发言,赵长安没有看到过,因为那个时候他怎么可能对这种枯燥的技术发言感兴趣。

而现在他则是翻来覆去的看这篇很短的发言,看了半天,感觉他好像啥都没有说。

其实在这个会议上,真正最具备含金量的在赵长安看来,是MIT研发报告里面提到的那句‘在193nm浸没的情况下157nm问题常见的普遍困难都不存在,几乎等同于现今处于干式介质中193nm步进式光刻机效果。’

这句话里面暗含着一个重大的,如同窗户纸一样,却直到03年7月才开始被Sematech(m国半导体制造技术联盟,成员包括m国防部、能源部、国家实验室、国家科学委员会、国家标准及技术院、MIT,得州大学,ASML,——)捅破。

就是既然193nm在浸没式液体之中既然依然是那么的稳定,为什么一定要使用难题很多的157nm作为浸没式光源,为什么就不能依然用193nm。

而现在所有人都这么认为,既然193nm在干式介质就已经很稳定,为什么要脱了裤子放屁,要把它放在液态流体之中多此一举?

这里面唯一所欠缺的一个几乎这些技术人员都知道的常

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