“巧了，我也有个惊喜想给你分享分享！”
“杯子拿稳了！”
孙院士暗暗摇头，心想，你们能有什么好消息？不会又是一些鸡毛碎皮的小突破吧？
心里虽然这么想，但表面上依旧一团和气道：
“我们俩谁先说？”
“你年纪大，你先吧！”王院士呵呵道。
孙院士不爽了，“你年纪小，你先说。”
“那好，我不客气了！”王院士笑眯眯的将复印件递了过去。
孙院士翻看着复印件，一开始还非常不屑一顾。
1nmX射线光刻机光源技术？
开什么玩笑！
X射线虽然波长比EUV极紫外线更短，精度更高。
但不稳定性和不连续性却是个天大的麻烦。
有攻克这个难题的功夫，本国早就把光刻机的技术精度推到10nm了。
“拓子晶体激发的量子限域高次谐波X射线扑光子晶体激发的量子限域高次谐波X射线光源，基于量子点超晶格与自聚焦等离子体通道的1nm波段相干光源！
“采用飞秒激光（脉宽5fs，峰值功率10PW）轰击氖/氪混合气体靶，诱导多体量子隧穿效应，产生高亮度宽谱X射线（0.5-2nm）。
“通过自旋轨道耦合调制，使等离子体形成周期性涡旋结构，提升高次谐波转化效率至~5×10????（传统HHG的50倍.......”
看着看着，孙院士脸上的不屑瞬间凝固，只感觉头皮发麻，手上拿着的咖啡杯顿时落在地上，摔碎。
卧槽！
这是哪个妖孽设计的光源系统？
太精妙了！
有些地方简直让他茅塞顿开，灵感迸发，差点就要当场来个‘龙场悟道’。
不过，自己的那些灵感与人家这份技术上的思路，还是差太远了。
看完后，孙院士有些意犹未尽，
“按照上面的流程和方案，完全可行，足以解决X射线光源的不稳定性和不持续性的毛病。”
“理论上，X射线的分辨率小于等于0.1nm，套刻精度小于等于0.3nm。工业级芯片量产精度至少0.4nm！”
“哪怕我国的物镜工艺再差劲，计算上光精度损耗，工业级芯片的精度可以实现1nm！完全不需要什么高精尖光学透镜。
“甚至还能反过来倒
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