“老公…你造的光刻机真的成功了?”
安若素全程懵逼,“光刻机造的芯片在哪儿?让我看看。”
闻言,正处于梦游状态的皇甫君噗嗤一笑,解释说:“傻孩子,光刻机只负责把电路图案刻在晶圆硅片上,而一片12寸晶圆可以切割几百颗芯片小晶圆,光刻只是造芯片的其中一环,并不能直接造出芯片。”
“噢…这样啊,那晶圆硅片呢?让我们看看被光刻机刻的图案是什么样的?成功与否,总得有个依据吧?”
“就算给你看,你也什么都看不到,因为光刻工艺是纳米级的,1纳米等于十亿分之一米,给你打个比喻吧,一根头发丝直径约为6万-9万纳米,芯片线路比头发丝还要细上几万倍,远远小于人眼的分辨极限。”
皇甫君补充道:“就算是普通光学显微镜也看不到,得用电子显微镜才能观测。”
“明白了,那就用电子显微镜看看嘛。”
安若素说出了妹妹和市领导、校领导的心声,除了研发团队,其他人都是一知半解。
毕竟光刻机的工作过程太抽象,不能直观地感受到产品效果,所以除研发团队外,大家反应平平,都有点木木的。
其实皇甫君也想看看,毕竟她从未见过1nm晶圆工艺,别说1nm了,2nm、3nm都没见过,于是看向女婿:“苏总,要不让大家开开眼?”
“没问题~”
苏云杉示意工程师取出12寸晶圆。
工程师小心翼翼地拿出一片圆形硅片,捧在无尘手套的手心上,供众人观看。
皇甫君、安若素姐妹、市领导、校领导、研发团队凑近围观,研发团队再次发出阵阵惊呼,相互拥抱庆祝。
晶圆直径30厘米,厚度不到1毫米,像一张薄薄的大光盘,在光的反射下呈七彩虹颜色,整片晶圆整齐排列着几百个小正方形,每个格子就是一颗芯片晶圆。
“哇——”
安无恙两眼放光:“好漂亮——”
安若素俯身近距离研究,“嗯…确实什么都看不到……”
苏云杉示意工程师用电子显微镜看晶圆。
12寸晶圆太大,放不进设备,技术人员先从整片晶圆切下一小块样品,经过清洁和导电处理,固定在样品台,放入SEM扫描电子显微镜,关闭舱门,抽真空。
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