沈永健宣布的同时，自己心中也松了口气。
天知道他看到第一片流片出现区域损毁时心中的压力有多大。
好不容易经过四个多月，再加上前期近两年的准备，一次失败起码又要等待一个月。
且其中消耗的资源和精力，包括对这工作本身的压力只会更大。
还好，后边两片还算争气！
2/3的成功率，于流片而言已算是极为圆满的巨大成功！
事实上，从流片本身验证的性质来说，只要有一片晶圆能够成功，也算是成功！
后续顶多是生产工艺或者部分原料上需要提高，而非集成电路的设计问题。
“呼~！”
低低的呼气声在车间内响起。
紧随其后便是众人高涨的激动情绪！
“成功了！”
“真成功了！？”
丁八一最先呼喊起来，这种在专业前沿领域的突破，作为还在本科阶段学习的亲历者，那种见证历史的感觉让他心中说不出的振奋！
“真一次就成了？”
张伟森同样激动，不过性格相对内敛一些。
目光望着沈永健低声喃喃着，直至沈永健向他再次点头，这才用手掌轻拍着一旁的顾江河。
而卓邵文早已紧随其后站到他的位置，亲自检查着“581-3”的芯片。
“这段时间大家都辛苦了。”
“我宣布明日起大家都休息，时间不定，你们自己的状态调整完毕再回来工作。”
沈永健说罢，便又赶忙看向卓邵文。
“邵文同志，你这两天再辛苦下，跟我总结完二代光刻机还有集成电路的资料再休息吧。”
步进式光刻机，“581-3”初代芯片，都是绝对的国际第一！
相关的技术与工艺资料自然需要总结并保密。
这次参与项目的同志虽然多，但真正知晓项目全貌技术的其实也就他跟卓邵文。
其余如吴姐和周克勤也只是在分工的内容上有一定认知。
至于其他普通的研究人员，其实参与的内容很细，都是完成沈永健布置的任务。
哪怕对集成电路有参与并具备一定认知，但实际的核心工艺同样全然不知，暂时还道不明个所以然。
当晚，沈永健还请了众人去吃了顿涮羊肉庆祝。
直到第二日，车间内安静下来。
卓邵文总结着光刻机的技术档案，
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