东西不简单。
能在硅片上打出这种精度的通孔,意味着可以在硅片的正面和背面之间建立垂直电气连接。
上下两层芯片就不需要通过传统的引线键合来通信了,直接穿过硅片本身,信号路径可以缩短数倍。
这个概念他不是第一次接触,学术界叫TSV,硅通孔技术。
理论上讲了很多年了,但真正做到量产级工艺精度的,全世界也没几家。
当然,夏春秋不确定自己的这个理论是不是在工程上走得通。
理论和实际之间隔着十万八千里,中间有多少材料问题、良率问题、设备问题,他需要真正做工艺实验才知道。
但至少,化学这一关完成了。
理论基础有了。
“不知道。”夏春秋非常坦诚地回答了周翰林的问题。
两个学生是面面相觑。
不知道?那您老这么激动个什么劲?
“我不知道具体能用在哪,但我知道这条工艺路线本身的价值。”夏春秋在椅子上坐下来,“你们想想,全世界做硅通孔的,工艺路线基本上被日本和霉国的几家公司垄断了,他们的核心壁垒不是设备,是化学配方和工艺参数。”
“现在我手上有一条完全独立开发的路线,不依赖他们的化学品专利,不依赖他们的设备耗材,数据还比他们公开发表的论文里的好。”
“这个东西值多少钱我算不清楚,但我知道一件事,得赶紧去找陈总。”
说干就干,让周翰林把化学分子数据导出来做了三份备份,又把实验日志从头到尾整理了一遍。
自己回到办公室坐在电脑前开始写汇报文档。
写了两行就停住了。
不行,这样写陈总看不懂。
夏春秋在巴斯夫干了十几年,写技术报告的习惯是极其学术化的。
开头先综述,然后文献引用,再列公式推导,最后实验数据对比分析。
格式标准,逻辑严谨,除了同行以外没有任何人类能看进去。
没错,是任何人类,不是任何人。
这次是做企业的,不是搞化学的。
夏春秋把文档删了,重新开始写。
这次他换了一种方式。
标题:《关于硅通孔化学工艺路线的重大突破,非常重要,请陈总务必看完》
正文第一句:我在硅片上打了一个全世界最直的孔。
写
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