指挥部临时搭建的板房会议室里,灯火通明。
这里没有豪华的装修,只有一张掉漆的长条桌,几把吱呀作响的折叠椅。
桌上,两杯热气腾腾的白开水,旁边是堆得像小山一样的技术资料。
李昂和钟元年,就这么相对而坐。
一个年轻的市长,一个白发的泰斗。
这场注定要载入江州史册的彻夜长谈。
就在这简陋到近乎寒酸的环境里,开始了。
“说说材料吧。”
钟元年率先开口,打破了沉默。
他没有问那些宏观的战略,而是直插心脏,从整个半导体产业最基础的根基问起。
李昂点了点头,身体微微后仰,靠在椅背上。
“磷化铟、氮化镓、碳化硅。”
他没有丝毫的停顿,直接报出了三个名字。
“这三种化合物半导体材料,国内都有实验室在做,但都没得到真正的重视。”
“所有人都觉得,这是旁门左道,远不如硅基芯片前景广阔。”
钟元年苍老的眼皮动了动,没有说话,示意他继续。
“但他们没看到,在高频、高温、高功率的应用场景下,这三种材料的物理性能,是硅望尘莫及的。”
“B计划的第一步,不是要去追赶别人已经成熟的赛道。”
“而是要开辟一个全新的,我们能掌握主动权的战场。”
李昂的声音很平稳,就像在陈述一个既定的事实。
钟元年端起水杯,喝了一口,滚烫的开水仿佛没能给他带来任何感觉。
他只是默默地听着,那张布满皱纹的脸上,看不出任何情绪。
李昂话锋一转。
“再说说等离子物理。”
他站起身,走到墙边挂着的一块白板前,拿起一支记号笔。
“国内现有的ICP刻蚀机,最大的问题是等离子体均匀性不够,导致良品率上不去。”
“核心原因,在于反应腔的结构设计,沿用的是二十年前的老路子。”
他说着,笔尖在白板上飞快地移动。
几条简单的曲线,几个关键的参数标注,一个全新的反应腔结构示意图,跃然板上。
“增加一个亥姆霍兹线圈,改变射频电源的耦合方式,再优化一下气路喷淋头的设计。”
“这样,就能在腔体内形成一个更稳定、更均匀的磁约束场。”
“刻蚀的精度和速度
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