多,约等于1.44,而这台机器的第二代折反式光学镜头已经把θ拉到了大约70°,n70°≈0.937,na已经达到了1.35,差不多逼近极限了。
「所以,下一代光刻机,大概率只能从套刻精度上下功夫,提升多重曝光的能力,而单次曝光的极限很难提升了。」
这次梁孟松讲很慢,而且很细,陈学兵边听边想,仍皱眉头。
「那个.……水介质,也就是浸没式,不是降低光源波长来提升制程吗?怎么变成提升na值了?」
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「.……」梁孟松的眼神和陈学兵对上,陈学兵恍惚间看到了他中午对著王兴一般的无语。
不,好像还要更无语。
「你从哪学的伪科学?光源的波长进入任何物质都不会被改变,这是七年级物理课内容。」
「.……我学文科的,再说我们大陆课程和你们不一样,初二才有物理,能搞懂干式和浸没式的区别就不错了。」陈学兵强行挽尊。
「好吧。」梁孟松倒也没有纠结,反而赞赏起来:「也是,你这样的投资人愿意了解这些,不多见。」
陈学兵口罩下重新微笑,心里也逐渐清晰起来。
「那工艺因子k?,听起来是和工艺相关?是各个厂家的技术决定吧?」
「对,这是很多技术决定的,拿65nm节点来说,中芯目前应该0.4-0.45之间,而台积电能达到0.32-0.35,所以中芯的65nm节点实际线宽可能是68nm,台积电65nm节点的实际线宽可以达到56nm,双方同代下会有性能差,不过这个问题你不用担心,我会逐步调整的,而且0.25就是理论极限,想继续逼近极限非常难,成熟节点的落差最终不会太大。」
陈学兵听著,有了判断。
那这个k?确实很难产生很大进步了。
波长不能变,na接近极限。
除了通过提升套刻精度搞更多重的曝光,v已经难有提升了。他这么一想,对v就愈发有危机感。
v光源的波长缩短十几倍,分子不是一下就缩小了十几倍?
「v……你了解吗?」陈学兵试探著问道。
他之前问过张汝京同样的问题,到的是否定的答案。
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梁孟松则迟疑了一下:「v?你想问什么?
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