的,而是在一块晶圆上面进行制造。
整个流程就是先选用单晶硅晶圆,经过化学清洗与平坦度测试,合格之后才可以使用。
紧接着是在晶圆表面旋涂光致抗蚀剂,通过旋转与固化使其均匀涂布晶圆表面,然后是将设计图样加载到光刻机的曝光机中,通过光刻机的重复曝光将图样投影在晶圆上。
后续步骤是显影、腐蚀、氧化等步骤,最后才到半导体装配。
所谓的半导体装配,其实就是将晶圆划分为多个芯片,测试合格之后进行装配封装。
而这个时候的晶圆,并不是每一个芯片都是同样的产品。
按照李康民他们的说辞,百分之二十的成品率,也就是说,使用浸没式步进扫描光刻机制造生产出来的一片晶圆,其上只有百分之二十左右的纳米级别芯片。
根据晶圆尺寸的不同,以及芯片面积大小的不同,一片晶圆大概能够制造出两百到五百个芯片。
假设一片晶圆能够生产出两百个芯片,那么百分之二十的成品率,那就是四十个芯片。
还有其他一百六十个芯片,有些应该是亚微米级别芯片,也有部分是完全不能够使用的废芯片。
王多鱼听完之后,沉默半晌,道:
“没事,百分之二十就百分之二十,我们也是世界领先水平,你们就是最牛逼的”
“这样,你们先好好休息,等休息好之后,我们再重新调整技术,提高这个成品率.”
李康民、姚文荣等人备受鼓舞,只要王教授没有责怪他们,就已经很高兴了,没想到他还鼓励大家。
“我看你们也已经很困了,还是早点回去休息吧,身体才是革命的本钱啊”
在王多鱼再三催促下,李康民他们这才终于点头,离开了实验楼这边。
刘德本、吕恭良、韩绝等人这才终于姗姗来迟,毕竟这可是国际领先水平的光刻机,他们当然也想来看看。
前几年,他们在光刻机上面吃过的亏,现在终于能够报复回去了吧?
四十五万美金一台光刻机?
呵呵,劳资现在要加价,一百万美金一台,谁赞成?谁反对?
(本章完)