率。」
「有你这句话，我放心多了。」丁顺安脸上堆满笑容连连回答。
既然此方法早就在徐铭计划里，说明是经过比较周密严谨的推导论证，如此成功率也就有了保障，必然能够解决稳定光源功率问题。
当高端光刻机最核心的光源系统，其技术被成功攻克并优化效率，那么后续其它光刻机部分的研究，效率上就会畅快许多飞速进展。
想到用不了多久，首台国产极紫外光刻机就能问世。
其心情可想而知。
「说实话我从来没有想过，咱们的高端光刻机，能研发的这么顺利，看来我们对徐总师你的了解，远远不如余院长知道的多啊！」
「幸亏余院长选了徐铭担任总设计师，否则研发进度肯定不会有现在快。」丁顺安听到身旁贺鹏涛的感慨，当即再次接过话茬附和一句。
徐铭则在承受了两位院士的轮番称赞后，只好战术性轻咳两声，让大家停止这个话题的讨论，接著重新把交流内容转到正事上面。
「现在我们才完成了极紫外光源挑战，想要在海外阿斯麦公司之前，推出7纳米工艺极紫外光刻机的话，还需解决不少的问题。」
几乎是这番话从口中讲出的瞬间，面前贺鹏涛和丁顺安两位院士，顿时神情有些怔住下意识轻声低喃。
「比阿斯麦更先研发吗？」
「我们的光刻机，真能直接升级到7纳米工艺？」
哪怕后面的潘耀等研究员，眼中都闪出精光，毫不掩饰流露的向往之色。
作为光刻机领域科研人员，对阿斯麦的大名，自然是如雷贯耳。
代表著现今人类光刻机技术的巅峰。
早在前段时间，阿斯麦就曾表示，正在研发新一代极紫外光刻机。
能够用于7纳米甚至5纳米晶片工艺的光刻制造。
如果国内这边，真能在阿斯麦公司前边，率先造出极紫外光刻机，那么便代表所拥有的技术，已经从最开始的落后变为领先存在。
尤其国内这边采用的极紫外光源，要比轰击锡滴方式转化率更高寿命更长。
对在场所有人来说，提起国产光刻机，脑海中浮现出来的只有那台，90纳米工艺的设备，很难想像技术直接过渡到7纳米会是一种怎样的体验。可以说整个人像是打了几针鸡血亢奋的不
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