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第3686章 斯维拉克[1 / 3]

“目前拥有130nm制程的企业,只有我们ASML和Nikon,Canon三家,现在准备突破这个阙值的企业,也同样只有我们三家。Nikon和Canon在两年前就开始研发ArF光刻机,在氮气介质下,193nm最低可以做到65nm制程。这个选择当然是最稳妥的一条路,就像从G线的436nm到i线的365nm,再到KrF的248nm,以及现在他们正在做的推进到193nm,165nm,157nm。”

斯维拉克不断来回更换着手里面的幻灯片,嘴上不带丝毫的停顿:“问题是,现在越往下推,技术上的困难都是呈现几何级数的增长,而且不稳定性也成倍的激增,也许他们可以做到65nm制程,可这条路,基本上到了65nm这个极限,就宣告走到了一个封闭的胡同。”

“而采用流体介质,目前最好的选择是纯净水,在193nm波长下,经过1.44的水介质折射,等效于134nm光源,这就等于ASML跳过了193nm,165nm,157nm这三个节点,跨越了干式步进式光刻机三个代层,遥遥领先的把Nikon和Canon远远甩在身后!”

斯维拉克慷慨激昂的讲了大约半个小时,然后躬身结束,赵长安首先鼓掌,苏博等人也热烈的鼓掌跟进。

放映厅的大灯亮了起来,斯维拉克关了放映机,下面就是一纳米北美的提问环节。

赵长安对这些并不是太懂,不过好在苏博是个专家。

其实赵长安根本就无所谓懂不懂,作为一条曾经跃出水面的鱼,他已经知道了如果分支线没有大的改动下的ASML的未来,所以即使他还懂一点,就算什么都不懂,也不妨碍他对投资ASML的信心。

只不过总得像模做样的做个戏给大家看看,让他们觉得自己这边也是经过了艰难的思考和决定,最终选择豪赌一把大的。

“光刻机所牵扯的领域很多,其中光源,光学,工作平台是最基础的三大系统,掩膜版,光刻胶,辅助测量聚焦环境传输系统,——”

苏博说了一堆在马丁和斯维拉克听着是废话的话,其实他是在和赵长安王渝讲解,然后说道:“对于氟化氩气体193nm激光源

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